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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6417422(A) 申请公布日期 1989.01.20
申请号 JP19870172325 申请日期 1987.07.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIMIZU ATSUO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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