发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6417443(A) 申请公布日期 1989.01.20
申请号 JP19870173208 申请日期 1987.07.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAMOTO SHINICHI;SAKAI HIROYUKI;KIKUCHI KAZUYA;YONEDA TADANAKA
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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