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经营范围
发明名称
CHARGED BEAM MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPS6417365(A)
申请公布日期
1989.01.20
申请号
JP19870172609
申请日期
1987.07.10
申请人
NIKON CORP
发明人
NAKAZAWA KIYOSHI
分类号
H01J37/20;H01J37/22
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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