发明名称 CHARGED BEAM MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS6417365(A) 申请公布日期 1989.01.20
申请号 JP19870172609 申请日期 1987.07.10
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKAZAWA KIYOSHI
分类号 H01J37/20;H01J37/22 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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