发明名称 SEMICONDUCTOR COOLING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6414943(A) 申请公布日期 1989.01.19
申请号 JP19870170810 申请日期 1987.07.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUWABARA HEIKICHI;NAKAJIMA TADAKATSU;OHASHI SHIGEO;OGURO TAKAHIRO
分类号 H01L23/473;H01L23/46 主分类号 H01L23/473
代理机构 代理人
主权项
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