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发明名称 INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6414936(A) 申请公布日期 1989.01.19
申请号 JP19870170515 申请日期 1987.07.08
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 FUJIWARA HITOSHI
分类号 G01R1/067;H01L21/66 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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