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摘要
申请公布号 DE3309651(C2) 申请公布日期 1989.01.19
申请号 DE19833309651 申请日期 1983.03.17
申请人 RICOH CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 IDE, YUKIO, MISHIMA, SHIZUOKA, JP;OHSHIMA, KOHICHI, NUMAZU, SHIZUOKA, JP
分类号 C23C16/24;B01J19/12;C23C16/48;G03G5/08;G03G5/082;H01L31/20;(IPC1-7):G03G5/082;C23C16/44 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
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