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发明名称 ASSEMBLY EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6415960(A) 申请公布日期 1989.01.19
申请号 JP19870170955 申请日期 1987.07.10
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 YAMAGATA TOSHIO;JIN SATORU;KIMURA KAZUAKI
分类号 H01L23/02;H01L23/50 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人
主权项
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