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发明名称 PLASMA ASHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS6415929(A) 申请公布日期 1989.01.19
申请号 JP19870172164 申请日期 1987.07.09
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MATSUYAMA TOSHIO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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