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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6415368(A)
申请公布日期
1989.01.19
申请号
JP19870168977
申请日期
1987.07.07
申请人
TOTSUKI KK
发明人
ARAKI ICHIRO
分类号
C23C14/34;C23C14/35
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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