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发明名称
MICROLITHOGRAPHIC PROCESS FOR CIRCUITS USING ORGANIC CONDUCTIVE FILMS SENSITIVE TO ELECTROMAGNETIC RADIATIONS AND TO CHARGED PARTICLES, AND CIRCUITS AND COMPONENTS OBTAINED BY THIS PROCESS
摘要
申请公布号
EP0287412(A3)
申请公布日期
1989.01.18
申请号
EP19880400669
申请日期
1988.03.21
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
发明人
BARRAUD, ANDRE;RICHARD, JOEL;VANDEVYVER, MICHEL
分类号
H01B5/14;H01B13/00;H05K1/09;H05K3/00;H05K3/02;H05K3/10;(IPC1-7):H05K3/00
主分类号
H01B5/14
代理机构
代理人
主权项
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