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发明名称
摘要
申请公布号	JPS648659(U)	申请公布日期	1989.01.18
申请号	JP19870103980U	申请日期	1987.07.07
申请人		发明人
分类号	G01N21/88;G01R31/26;H01L21/66;H05K13/08;(IPC1-7):G01N21/88	主分类号	G01N21/88
代理机构		代理人
主权项
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