发明名称 FORMATION OF HETEROINTERFACE
摘要
申请公布号 JPS6414191(A) 申请公布日期 1989.01.18
申请号 JP19870171529 申请日期 1987.07.08
申请人 NEC CORP 发明人 IDE YUICHI;ANAMI TAKAYOSHI;NISHI KENICHI;ONABE KENTAROU
分类号 C30B23/08;C30B29/40;C30B33/00;C30B33/02;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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