发明名称 |
FORMATION OF HETEROINTERFACE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS6414191(A) |
申请公布日期 |
1989.01.18 |
申请号 |
JP19870171529 |
申请日期 |
1987.07.08 |
申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
IDE YUICHI;ANAMI TAKAYOSHI;NISHI KENICHI;ONABE KENTAROU |
分类号 |
C30B23/08;C30B29/40;C30B33/00;C30B33/02;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|