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发明名称
摘要
申请公布号
JPS641958(Y2)
申请公布日期
1989.01.18
申请号
JP19850128118U
申请日期
1985.08.21
申请人
发明人
分类号
C23C16/50;C23C16/24;H01L21/205;H01L21/285;H01L25/00;(IPC1-7):C23C16/50
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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