发明名称
摘要
申请公布号 JPS641958(Y2) 申请公布日期 1989.01.18
申请号 JP19850128118U 申请日期 1985.08.21
申请人 发明人
分类号 C23C16/50;C23C16/24;H01L21/205;H01L21/285;H01L25/00;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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