发明名称 LOGIC LSI
摘要
申请公布号 JPS6413482(A) 申请公布日期 1989.01.18
申请号 JP19870168665 申请日期 1987.07.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWASHIMA MASATOSHI;TAKECHI MAKOTO;KOTANI HIROSHI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/118;H03K3/037;H03K19/173 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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