| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERZEUGEN EINES HF-INDUZIERTEN EDELGASPLASMAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ATA334285(A) |
申请公布日期 |
1989.01.15 |
| 申请号 |
AT19850003342 |
申请日期 |
1985.11.15 |
| 申请人 |
ANTON PAAR KG;KNAPP GUENTHER DR. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J65/04;H05H1/46;(IPC1-7):G01N21/68;H05H1/30 |
主分类号 |
H01J65/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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