发明名称 METHOD FOR GROWING III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL ON SI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS649895(A) 申请公布日期 1989.01.13
申请号 JP19870165694 申请日期 1987.07.01
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMOTO TAKU
分类号 C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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