| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6410615(A) |
申请公布日期 |
1989.01.13 |
| 申请号 |
JP19870166340 |
申请日期 |
1987.07.02 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
MIYAMOTO HIRONOBU;FURUHATA NAOKI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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