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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6411344(A) 申请公布日期 1989.01.13
申请号 JP19870167205 申请日期 1987.07.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJITA TSUTOMU;YAMAMOTO HIROSHI;KAKIUCHI TAKAO;FUJII SHINJI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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