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发明名称 FORMING METHOD FOR INTERLAYER INSULATING LAYER
摘要
申请公布号 JPS6410650(A) 申请公布日期 1989.01.13
申请号 JP19870166361 申请日期 1987.07.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUKANO SATORU
分类号 H01L21/3205;H01L21/31;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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