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发明名称 DRY ETCHING OF SILICON USING BROMINE GAS
摘要
申请公布号 JPS648626(A) 申请公布日期 1989.01.12
申请号 JP19870162286 申请日期 1987.07.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIHARA SATOSHI;NAKAMURA MORITAKA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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