发明名称 FORMATION OF THIN ORGANIC FILM
摘要
申请公布号 JPS648261(A) 申请公布日期 1989.01.12
申请号 JP19870163784 申请日期 1987.06.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 WATANABE TORU;OKUMURA KATSUYA
分类号 C23C14/12;C23C14/34;H01L21/31;H01L21/312 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
主权项
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