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经营范围
发明名称
GAS ETCHING
摘要
申请公布号
JPS648628(A)
申请公布日期
1989.01.12
申请号
JP19870164732
申请日期
1987.06.30
申请人
KYOCERA CORP
发明人
IWASAKI AKINORI;OKUBO DAIGORO;HIGUCHI HISASHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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