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发明名称 APPARATUS OF INSPECTING CCD SOLID-STATE IMAGE SENSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS649347(A) 申请公布日期 1989.01.12
申请号 JP19870164240 申请日期 1987.06.30
申请人 NEC CORP 发明人 AOYANAGI TAKASHI
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;H01L27/14 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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