| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS648634(A) |
申请公布日期 |
1989.01.12 |
| 申请号 |
JP19870162316 |
申请日期 |
1987.07.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KASHU NOBUYOSHI;GOSHIMA HIDEKAZU;OYU SHIZUNORI;SUZUKI TADASHI |
| 分类号 |
H01L21/322;H01L21/74;H01L21/8249;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L21/322 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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