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发明名称
摘要
申请公布号	JPS645357(U)	申请公布日期	1989.01.12
申请号	JP19870101592U	申请日期	1987.06.30
申请人		发明人
分类号	G01N27/62;H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20	主分类号	G01N27/62
代理机构		代理人
主权项
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