PROCESS FOR METAL NITRIDE DEPOSITION

摘要

Procédé permettant de réaliser des couches minces de nitrures métalliques, consistant à employer les techniques de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique afin de décomposer thermiquement une vapeur (8) comprenant une azoture de dialkyle (métal du groupe III), de manière à déposer une couche mince (9) de la nitrure métallique correspondante sur la surface d'un substrat (6).