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发明名称 VORRICHTUNG ZUR MESSUNG VON TEILCHENCHARAKTERISTIKA
摘要
申请公布号 DE3822310(A1) 申请公布日期 1989.01.12
申请号 DE19883822310 申请日期 1988.07.01
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TAKEDA, KAZUO, KOKUBUNJI, JP;ITO, YOSHITOSHI, OME, JP
分类号 G01N15/14;G01N21/53;(IPC1-7):G01N15/02;G01N21/84;G01N21/49 主分类号 G01N15/14
代理机构 代理人
主权项
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