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发明名称 DRY WASHING METHOD OF QUARTZ PIPE
摘要
申请公布号 JPS648285(A) 申请公布日期 1989.01.12
申请号 JP19870161121 申请日期 1987.06.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WATABE TAKUYA;NISHIMURA MASAHIDE
分类号 C23F4/00;H01L21/205;H01L21/22 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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