| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING METAL SILICIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0214515(A3) |
申请公布日期 |
1989.01.11 |
| 申请号 |
EP19860111467 |
申请日期 |
1986.08.19 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
BAUER, HANS-JURGEN |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/31;C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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