发明名称 STEUERUNG UND REGELUNG EINER GLUEHKATODEN-PLASMA-IONENQUELLE MIT ZWEI- ODER DREIFACHER GITTERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DD263675(A3) 申请公布日期 1989.01.11
申请号 DD19860291816 申请日期 1986.06.30
申请人 VEB HOCHVAKUUM DRESDEN WISS. INDUSTRIEBETRIEB,DD 发明人 SCHOEBEL,ECKHARD,DD;TACK,ACHIM,DD;STRAUSS,RAINER,DD;BIGL,FRIEDER,DD;NEUMANN,HORST,DD;EHRIG,KLAUS,DD
分类号 H01J37/304;(IPC1-7):H01J37/304 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
主权项
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