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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPS647615(A)
申请公布日期
1989.01.11
申请号
JP19870161318
申请日期
1987.06.30
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
AZUMA TATSUMI;UEKI YUJIRO
分类号
H01L21/208
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
地址
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