发明名称 WASHER
摘要
申请公布号 JPS647984(A) 申请公布日期 1989.01.11
申请号 JP19860086541 申请日期 1986.04.15
申请人 SPEEDFAM CO LTD 发明人 URANO TAKAMI;ARAI HATSUYUKI
分类号 B08B7/04;H01L21/304 主分类号 B08B7/04
代理机构 代理人
主权项
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