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发明名称 FORMING METHOD FOR SOI STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPS647610(A) 申请公布日期 1989.01.11
申请号 JP19870161211 申请日期 1987.06.30
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 KOYAMA KENICHI
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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