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发明名称 ALIGNMENT MARK DETECTION
摘要
申请公布号 JPS647524(A) 申请公布日期 1989.01.11
申请号 JP19870163754 申请日期 1987.06.29
申请人 NEC CORP 发明人 OCHIAI YUKINORI
分类号 H01L21/027;G01B15/00;G03F9/00;H01L21/30;H01L21/66 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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