ACCELERATION AND DECELERATION ELECTRODE DEVICE FOR ULTRA-LOW ENERGY ION BEAM,申请号JP19870162067-传众专利搜索

发明名称	ACCELERATION AND DECELERATION ELECTRODE DEVICE FOR ULTRA-LOW ENERGY ION BEAM
摘要
申请公布号	JPS647462(A)	申请公布日期	1989.01.11
申请号	JP19870162067	申请日期	1987.06.29
申请人	ULVAC CORP	发明人	ISOYA AKIRA
分类号	H05H5/00;G21K5/04;H01J37/317;H01L21/265	主分类号	H05H5/00
代理机构		代理人
主权项
地址