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发明名称 PROCESS FOR MASKING AND RESIST FORMATION
摘要
申请公布号 EP0197519(A3) 申请公布日期 1989.01.11
申请号 EP19860104598 申请日期 1986.04.04
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 KLYMKO, PAUL W.;LYONS, CHRISTOPHER F.;MOREAU, WAYNE M.
分类号 G03F7/095;(IPC1-7):G03F7/02 主分类号 G03F7/095
代理机构 代理人
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