DRY ETCHING DEVICE,申请号JP19870159786-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号	JPS645929(A)	申请公布日期	1989.01.10
申请号	JP19870159786	申请日期	1987.06.29
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	AIKAWA TETSUO;SEKI KAZUO
分类号	C03C15/00	主分类号	C03C15/00
代理机构		代理人
主权项
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