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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS645068(A) 申请公布日期 1989.01.10
申请号 JP19870160028 申请日期 1987.06.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YABU TOSHIKI;KURIMOTO KAZUMI
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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