发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS645051(A) 申请公布日期 1989.01.10
申请号 JP19870159666 申请日期 1987.06.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ISHIDA KENJI;KAMEYAMA ATSUSHI
分类号 H01L27/06;H01L21/331;H01L21/8232;H01L27/095;H01L29/205;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/80 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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