发明名称 |
COMPOUND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS645051(A) |
申请公布日期 |
1989.01.10 |
申请号 |
JP19870159666 |
申请日期 |
1987.06.29 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
ISHIDA KENJI;KAMEYAMA ATSUSHI |
分类号 |
H01L27/06;H01L21/331;H01L21/8232;H01L27/095;H01L29/205;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L27/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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