发明名称 |
Light-sensitive 1,2-naphthoquinone-2-diazide-4-sulfonic acid monoesters of cycloalkyl substituted phenol and their use in light-sensitive mixtures |
摘要 |
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申请公布号 |
US4797345(A) |
申请公布日期 |
1989.01.10 |
申请号 |
US19870068397 |
申请日期 |
1987.07.01 |
申请人 |
OLIN HUNT SPECIALTY PRODUCTS, INC. |
发明人 |
JEFFRIES, III, ALFRED T. |
分类号 |
C09K9/02;C07C67/00;C07C301/00;C07C309/69;C07C309/76;G03C1/72;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/54;C07C113/00;G03C1/76 |
主分类号 |
C09K9/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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