发明名称 SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS645791(A) 申请公布日期 1989.01.10
申请号 JP19870159767 申请日期 1987.06.29
申请人 SONY CORP 发明人 NAKAGAWA KIYOSHI
分类号 B23B35/00;B26D7/01;B26D7/06 主分类号 B23B35/00
代理机构 代理人
主权项
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