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发明名称 Inspection apparatus including photodetection and scanning apparatus
摘要
申请公布号 US4797558(A) 申请公布日期 1989.01.10
申请号 US19870043654 申请日期 1987.04.28
申请人 SIRA LIMITED 发明人 WEST, ROBERT N.
分类号 G01M11/00;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/88;H01J3/14 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
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