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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS644474(A) 申请公布日期 1989.01.09
申请号 JP19870159377 申请日期 1987.06.26
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIHARA YOSHITAKE
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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