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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM EL ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS644465(A) 申请公布日期 1989.01.09
申请号 JP19870158096 申请日期 1987.06.24
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIOKA TOSHIHIRO
分类号 C23C14/06;C23C14/34 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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