发明名称 Vapor-solid diffusion of semiconductive material
摘要
申请公布号 US2873222(A) 申请公布日期 1959.02.10
申请号 US19570695110 申请日期 1957.11.07
申请人 BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED 发明人 DERICK LINCOLN;FROSCH CARL J.
分类号 C30B25/16;C30B31/00;C30B31/06;H01L21/00 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
主权项
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