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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS644056(A) 申请公布日期 1989.01.09
申请号 JP19870157644 申请日期 1987.06.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 INABA TORU;HORIE NOBORU
分类号 H01L27/04;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8249;H01L23/522;H01L27/06 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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