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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS642357(A) 申请公布日期 1989.01.06
申请号 JP19870158015 申请日期 1987.06.25
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 MURAKAMI YUKIO
分类号 H01L21/66;H01L29/47;H01L29/872 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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