TESTER,申请号JP19870156991-传众专利搜索

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发明名称	TESTER
摘要
申请公布号	JPS641977(A)	申请公布日期	1989.01.06
申请号	JP19870156991	申请日期	1987.06.23
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	ABE YUICHI
分类号	G01R31/26;H01L21/66	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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