| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM SUPERCONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS642218(A) |
申请公布日期 |
1989.01.06 |
| 申请号 |
JP19870156819 |
申请日期 |
1987.06.24 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ICHIKAWA HIROSHI;YAMAZAKI OSAMU |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/24;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/12 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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