| 发明名称 |
Negative-working polymers useful as X-ray or E-beam resists |
| 摘要 |
Radiation-sensitive interpolymers comprising 10-90 mole % of a polymerized maleimide monomer are useful as resists having high sensitivity to E-beams or X-rays.
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| 申请公布号 |
US4795692(A) |
申请公布日期 |
1989.01.03 |
| 申请号 |
US19870010103 |
申请日期 |
1987.02.02 |
| 申请人 |
EASTMAN KODAK COMPANY |
发明人 |
ANDERSON, CHARLES C.;KOLTERMAN, KRISTINE M.;TURNER, SAM R. |
| 分类号 |
C08F222/40;G03F7/038;(IPC1-7):G03C5/00;G03C1/68;C08F22/40 |
主分类号 |
C08F222/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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